在晶圆制造的关键环节中，抛光工艺的精度与效率直接关乎最终产品的质量与产能。而北京艾姆希的晶圆抛光设备，凭借着专业的技术、卓越的性能和广泛的适用性，成为了行业内的佼佼者，为晶圆加工领域注入了强大的动力。
以 GNAD-E 系列精密研磨抛光系统为例，它在晶圆抛光上的表现堪称惊艳。无论是硅、碳化硅这类常见的半导体材料晶圆，还是石英、磷化铟等特殊材料晶圆，它都能进行高精度的化学机械抛光。设备主机及零备件可选择全防腐或非防腐材料，灵活应对不同的加工环境。独立无油真空泵和防倒吸功能，有效杜绝了超净空间的污染，为晶圆抛光营造了洁净的环境。触摸屏控制面板设计人性化，置于工作区域外部且可移动，既避免了磨抛液的腐蚀，又方便操作人员根据习惯调整，所有功能参数设置一目了然，操作便捷高效。
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