在当今科技飞速发展的时代,半导体及相关材料的精密加工对于众多高科技产业的进步起着至关重要的作用。而北京艾姆希半导体科技有限公司,以其卓越的技术、优质的产品和完善的服务,赢得了业内的广泛赞誉。
从产品方面来看,艾姆希的精密研磨抛光设备堪称行业典范。以 GNAD - E 系列精密研磨抛光系统为例,其覆盖领域极为广泛,涵盖了半导体材料、光电材料等诸多应用领域。无论是硅、碳化硅、氮化镓等常见半导体材料,还是石英、锑化镓、磷化铟等特殊材料芯片的研磨减薄,底面、表面或端面的化学机械抛光等工艺,该设备都能完美胜任。主机及所有零备件可选择全防腐或非防腐材料,通过有线或者无线(蓝牙)方式连接控制系统,极大地提高了设备的适用性。独立无油真空泵以及独立的防倒吸功能,有效减少了超净空间的污染,为高精度加工提供了良好的环境保障。触摸屏控制面板设计贴心,所有功能参数可在上面轻松设置,并且控制面板置于工作区域外部,采用可移动方式,既能避免磨抛液溅入造成操作系统腐蚀,又能适应不同操作人员的使用习惯。样品通过抽真空吸附在夹具底面,还可根据用户工艺要求定制各种角度附件等非标夹具附件,实现对非标形状样品的抛光及角度抛光。夹具配备的数字厚度监测表,能以 1μm 的高精度监测样品在磨抛工艺过程中的去除量,同时夹具对晶圆样品的压力连续可调,压力范围 0 - 5000g,并配置精度为 2g/cm² 的压力测量装置,确保了加工的高精度和稳定性。