北京艾姆希半导体科技有限公司在砷化镓研磨抛光设备领域表现卓越。公司专注于半导体领域超精密平面加工设备的研发、生产与销售,以 “引领半导体技术进步,助力客户发展” 为使命。
艾姆希可针对砷化镓等化合物半导体衬底材料,提供涵盖减薄、研磨、抛光、临时键合、清洗等全流程的设备与工艺解决方案。例如其衬底减薄抛光制程所涉及的双面抛光机、单面抛光机、自动粘片机和晶圆自动清洗机等设备,能满足砷化镓晶圆在不同加工阶段的需求。
北京艾姆希半导体科技有限公司掌握先进工艺,以 “更平、更薄、更可靠” 为技术导向,形成了技术领先、性能优越、工艺稳定的核心优势。在专利技术方面成果斐然,像2023年申请了晶圆磨抛机的实用新型专利,通过对半导体材料样品的加工夹具(磨头)的设计,对砷化镓的磨抛压力控制更为精准,这对于提升砷化镓研磨抛光过程中的精度调节具有重要意义,有助于保障加工的一致性与高质量。