三维测量显微镜MS1000

MS1000 操作简便，测量功能完善，涵盖纳米级微观轮廓，二维尺寸以及光谱分析，通用性强，精度高，助力我们的客户在精密制造和材料研发中处于领先地位。

功能特点描述

技术应用

• 表面三维粗糙度非接触测量

• 表面微观三维结构测量

• 显微反射光谱测量（选）
Micro1000三维测量显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行纳米级测量;以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

• 单次测量视场:(10X涉物镜)1000*700um纵向扫描范围 0-10mm
• 纵向测量重复性 0.5nm(PSl模式 Ra值)
• 光学分辨率@550nm:0.92um(10X干涉物镜)
• 测量时间 <5s (PSl模式)
• 软件功能:微观采图、粗糙度分析、微观结构三维显示、微观尺寸
• 测量、一键式测量功能
• 数据输出:3D点云数据、灰度图像数据、订制化报告
• 白光干涉显微测量原理：采用白光光源，将非相干光干涉和高分辨率显微成像技术相结合，高精度重构微观三维轮廓，纵向分辨率可达亚纳米量级
• 显微光谱测量：选配光谱模块可以实现表面微区光谱测量和膜厚测量功能

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