GNAD-E系列精密研磨抛光机

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精密研磨抛光系统设计科学、性能先进、自动化程度高、操作方便、可靠性与维护性强。
• 整机防腐，独立可移动式触摸操控系统；
• 多通道进料系统；
• 数字厚度监测装置，实时监测去除量；
• 工艺参数存储以及定时功能；
• 配有工作位升级预留接口。

功能特点描述

技术应用

设备参数

• GNAD-E系列精密抛光系统独立操控系统，整机防腐。
• 主机所有参数均可在触摸操控系统上进行设定，可选择无线或有线方式控制主机。
• 夹具配备数字厚度监测装置；并配有独立驱动系统，且摆动速度和摆动幅度可以调节。
• 晶圆样品通过抽真空的方式吸附在夹具底面，并可以根据用户工艺要求定制各种角度附件等非标夹具附件，并实现对非标形状样品的抛光及角度抛光。
• 研磨抛光盘转速可以调节，且更换方便，大幅缩短工艺时间。
• 多通道进料系统，工作时料桶具有在线搅拌功能，并且滴料速度可以精确控制。
• 在线实时磨抛盘温控及冷却选配功能，盘温接近预设温度警戒值，设备会自动启动冷却功能，保持磨抛盘在工艺要求的温度范围内运转工作。
• 磨抛盘自动冲洗选配功能，可实时在线冲洗磨抛工作区域。并且流速，清洗时间等参数可精确数控。
• 设备定时功能，预设时间0-10小时。预设时间达到，设备自动停机。