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晶圆磨抛机厂家
2025-12-02

 


          

      北京艾姆希专注于半导体器件专用设备的技术开发与服务通过整合技术资源与本土产业需求,形成了覆盖研发、设计、营销、技术服务的完整业务体系凭借技术积累与规范的经营管理,服务范围覆盖国内科研机构与产业客户,为晶圆加工领域提供稳定的设备支持与技术保障。


北京艾姆希聚焦不同材料与场景的加工特性,推出多款晶圆磨抛机产品,兼顾加工精度与实用性:


1. GNAD-E 系列精密研磨抛光系统

该系列设备适用于半导体材料、光电材料等多领域加工,可针对硅、碳化硅、氮化镓、石英、锑化镓、磷化铟等多种材料,完成芯片研磨减薄、底面 / 表面 / 端面化学机械抛光等工序。设备主机及零备件支持全防腐或非防腐材料选择,适配不同加工环境需求;通过有线或无线(蓝牙)连接控制系统,操作灵活便捷,满足多元工艺调控需求。


2. MP 系列四工位磨抛机

MP 系列磨抛机适用于碳化硅、氮化镓、氮化铝、蓝宝石等材料晶片及部件的大批量研磨抛光。滤波材料、楔形材料、液晶显示板料等均可通过该设备进行加工,适配规模化生产需求,助力提升产能与加工一致性。


3. 定制化磨抛方案

针对高精密加工需求,公司部分磨抛设备具备压力闭环控制功能,可实现实时监控校准,加工精度可达 2nm,能够满足 TTV≤2μm、RA≤0.1nm 的加工标准。设备支持模块化设计,可更换抛光盘、浆料与抛光垫,搭配同心或偏心抛光等多种运动模式,适配特殊工艺要求。


北京艾姆希晶圆磨抛机的应用场景广泛,涵盖半导体制造、光电器件生产、新材料研发等多个领域。半导体芯片的精密加工、光电材料的加工优化、新能源领域相关部件的批量生产等场景,均可通过其设备满足加工需求。同时,设备也适配科研机构的实验性加工需求,为新型材料研发提供技术支撑。


   


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