探针台
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TM系列探针台TM6手动探针台

手动探针台是广泛应用与半导体行业的综合经济型测试仪器,主要用于半导体芯片的电参数检测。

手动探针台是通过两根探针以及吸片盘够成的回路以及相应大型电参数测试仪对芯片中的集成电路进行检测的。

产品特点:

适用6英寸各种半导体器件的高精度测试

同轴驱动CHUCK

可以升级做射频测试

20X~2000X 光学显微放大

无后座力移动

可选择显微镜倾仰装置或者气动升降装置

可根据用户需求定制,并提供更长的保修期服务!

产品品牌:
MCF

产品型号:
TM6探针台
TM/6 inch Probe Station

产品应用范围:
手动探针台主要用于对生产及科研中的集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的电压、电流、电阻等参数进行手动测试。

 

产品技术参数:

CHUCK(卡盘):

尺寸:6英寸,圆形(方形可选)

材质:不锈钢(可升级镀金)

旋转角度:0-360°带角度锁定,精度0.1°

X-Y移动行程:6" x6",移动精度:5um(可升级为1um精度)

Z轴升降行程:5mm,卡盘快速升降,方便更换样品,不会碰触到其他已调试好器件

显微镜控制:

显微镜放大倍率:20X~2000X

显微镜X-Y轴行程:2" x2"

在探针台本体的功能设计上增加了显微镜的气动升降或者显微镜倾仰装置,使在测试过程中更换物镜和样品更为方便,避免了会有碰伤样品和镜头的问题


可选附件   

uck快速拉出装置  

积分球夹具

显微镜倾仰装置和快速移动装置   

光强/波长测试接口部件  

射频测试探头和线缆   

有源探头  

低电流/电容测试   

高压测试   

视频CCD系统   

封装器件夹具    

PCB板夹具

加热系统   

防震台

屏蔽箱   

镀金Chuck

可根据用户需求定制,并提供更长的保修期服务!更多资料详询我司技术部门!