激光干涉仪
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FM/100QPS-LP/LS激光球面干涉仪

斐索干涉仪是一种原理为等厚干涉,用以检测光学元件的面形、光学镜头的波面像差以及光学材料均匀性等的精密仪器。其测量精度一般为1/10~1/100,为检测用光源的平均波长。

特长                                                   
Features

成像质量良好                                              
Good imaging quality

精密机械相移分析系统                                
Precision mechanical phase shift analysis system

操作方便                                                    
Easy to operate

产品品牌:
MCF
产品型号:
FM/100QPS-LP/LS激光球面干涉仪

功能

高精度、多品种透镜的光学表面面型测量       
High precision optical surface measurement of multiple lens 

高精度平面光学元件的表面面型测量              
Surface measurement of high precision plane optical element

给出面型综合分析,数据处理                        
Comprehensive analysis,data processing



总体技术指标                                     
General specifications

测量方式:斐索干涉原理                             Tesr Type:Fizeau interferometry

通光口径:100mm                                      Test Beam:Φ100mm

测试波长:632.8nm(He-Ne激光器)             Test Wavelength:632.8nm(He-Ne laser)

数字CCD:1024*1024                                 Digital CCD:1024*1024 pixel

连续变焦倍数:1-6倍                                   Zoom:1X to 6X-Remote controlled

对准方式:简单两点对准                              Alignment:Simple two spot alignment

对准视场:±0.5度                                         Alignment View:±0.5degrees

相移方式:机械相移                                     Phase-shifting Modes:Mechanical phase-shift(PZT)

平面标准镜精度:PV:λ/20                         Reference mirror:PV: λ/20

球面标准镜精度:PV:λ/10                         Spherical reference mirror:PV: λ/10

精密导轨,导轨长度:有效长度1000mm     Precision guide,length 1000mm

五维调整架:三维平移,两维角度               Three dimensional translation,Two

              五维调节,三爪卡盘夹具                dimensional angle adjustment 


球面标准镜 Spherical reference mirror

F0.8,F1.0,F2.0,F2.8,定制镜头(custom mirror)


应用范围:科学研究、精密器件加工及光学零件测试等领域的广泛应用。

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