3D轮廓仪
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非接触式激光轮廓测量仪

非接触式轮廓测量仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量,还原出工件3D表面形貌宏微观信息,并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理,实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器


测定概要

该PF-60,由自动聚焦激光束显微镜(AF显微镜)和高精度的XY扫描移动轴。自动对焦显微镜测量在Z轴方向高度和XY载物台移动的样品,以获得二维和三维的XYZ坐标值,进行形状测定。

自动对焦系统

高度测量用的AF显微镜,是通过上图红色激光束光路,以一个半径为0.5μm的激光探针通过透镜,在工件表面成像。

反射的激光束从工件表面再通过透镜,在AF传感器上成像,激光对焦位置发生改变,AF传感器上的激光位置也会发生变化。

AF传感器上位置变化被实时检测出来,根据激光位置的变化反应到AF的机构部,由AF显微镜成像决定焦点位置。

XY移动轴扫描

高精度的XY移动台,在移动中能够读取XY坐标值,可移动范围内

(60mmx60mm)可连续测量。无需受限视野,无需数据的拼接,可实现广范围高精度的连续测量。


产品特点:

快速高精度激光点对焦

测量时间短,测量方便

可对应低反射率样品

可对应大斜率样品表面

广范围/高精度测定

极其优异的角度追踪性


产品型号:

PF-60非接触式激光轮廓仪

产品应用范围:

作为新的高科技产品,三维激光扫描仪广泛应用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业。适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室。

在汽车、摩托车、制冷行业可测汽车、摩托车、压缩机的活塞、活塞销、齿轮和气门顶杆的母线参数等并可测量各种斜形零件的参数。

在轴承行业可测内外套圈的密封槽形状(角度、倒角R、槽深、槽宽等);

各种滚子轴承的滚子和套圈母线的凸度、角度、对数曲线;

电机轴、圆柱销、活塞销、滚针轴承、圆柱滚子轴承、直线轴承的动体和套圈的直线度;球轴承沟道的沟曲率半径及沟边距;双沟轴承的

沟心距;四点接触轴承(桃形沟)的沟心距和沟曲率半径等。



 





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